THz Technologie

Eine Welle mit der Frequenz von einem Terahertz hat im freien Raum eine Wellenlänge von ca. 300 Mikrometern. Demnach sind die Geometrien der erforderlichen Strukturen zur Arbeit in diesem Frequenzbereich in dieser Größenordnung - meist sogar noch weit darunter. Zur Herstellung solcher Proben, wird deshalb eine Technologie benötigt, die es ermöglicht präzise partikelfreie und hoch aufgelöste Strukturen zu fertigen.

Hierzu steht in unserer Arbeitsgruppe ein Reinraum der Klasse ISO 5 zur Verfügung, der unter anderem folgende technologischen Möglichkeiten bietet:

  • Strukturierung (optische Lithographie, Elektronen- und Ionenstrahllithographie)

  • Beschichtungsverfahren (Sputteranlage, Aufdampfanlage)

  • Chemische Analyse und Reinigung

  • Strukturelle Analyse (Profilometer, EDX)

  • Mikroskopie (optische Mikroskope, STM, SEM, AFM)

Laufende Projekte

WiPLASH Projekt

The main design principles in computer architecture have shifted from a monolithic scaling-driven approach towards an emergence of heterogeneous architectures that tightly co-integrate multiple specialized computing and memory units.

Quelle: Projektseite

Abgeschlossene Projekte

TUGRACO Projekt

Im Rahmen des TUGRACO (Towards Ubiquitous GRAphene based RF COmmunications) Projektes werden mit diesen Technologien sowohl metallische, als auch graphen-basierte Antennen hergestellt.